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品牌 | 其他品牌 | 應用領域 | 化工,生物產業(yè),農業(yè),地礦,能源 |
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日本富士FUJI單成分濃度計(機)的產品簡介:
維護性和高精度內線測量等的FUD-1 Model-13的好處就那樣,成為作為半導體制造工藝用小型單元型發(fā)信器作為特長的模型。
FUD-1 Model-53/FUD-1 Model-63 ※以下是構成的一例。
單成分濃度計的特點:
實時濃度測量可能,濃度管理系統構筑也簡單
模擬DC4~20mA及數字RS232C標準裝備
標準配備測量錯誤輸出和警報輸出
標準裝備自己診斷功能·錯誤信息表示
小型·輕量小區(qū)型發(fā)信器在線直接設置可能
采用PFA的接液構件、小輸出設計對藥液沒有影響
優(yōu)點:
高精度連續(xù)計測可能
無需定期調整、校對,無需維護
設置時的各種調整等不需要也容易設置
由于實時輸出的工程的反饋也容易
日本富士FUJI單成分濃度計(機)的用途:
在CMP工序中的CMP襯墊或氧化劑濃度管理等
稀釋工程的各種藥液濃度管理等(H2O2?TMAH?HNO3?H2SO4?HCl等)
在清洗過程中的清洗液濃度管理等(HF?NH4OH?KOH?IPA等)
蝕刻工序中的蝕刻液濃度管理等(HF?H2SO4等)
規(guī)格:
形式FUD-1 Model-13
測量參數超聲波傳播速度?溫度
顯示:LCD(濃度、溫度、音速/各種參數)
輸出信號模擬DC4~20mA(可對濃度值自由設定)
數字RS232C(濃度、溫度、音速、錯誤代碼)
警報上限測量異常.
電源AC100V~240V 50/60Hz (也可以使用DC24V)
構造面板掛載型(根據DIN規(guī)格)?盤內設置型(可選擇安裝在防雨箱中)
環(huán)境溫度0~50℃RH85%以下(不結露)
0~100℃特別規(guī)格-10~160℃(100℃幅度)
功能:輸出范圍設定、警報輸出設定、濃度顯示移動平均、濃度顯示偏移及增益設定功能、自我診斷功能、全息安全功能、異常值取消
RS485輸出(不能與RS232C同時輸出)
選項溫度輸出(DC4~20mA)
頻道大10ch
適配發(fā)信器Model-13:SA-20S26/SA-20S27/SA-20M5
如有需求,請詳見:FUJI單成分濃度計(機)
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