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日本KURODA硅片平整度 / SORI 測量系統(tǒng) 用于成膜時的工序控制和卡緊時平整度控制 水平旋轉(zhuǎn)、真空卡盤式φ300mm晶圓用表面形狀檢驗裝置。 邊緣排除區(qū)小1mm,可進行盒至盒的SORI、平整度等高精度自動測量。
日本黑田精工KURODA硅片平整度測量系統(tǒng) 同步檢驗表面形狀、背面形狀和平整度! NANOMETRO®TT系列是用于縱向旋轉(zhuǎn)、邊緣夾持式晶圓的平整度測量裝置。邊緣排除區(qū)小1mm,可進行盒至盒的高精度自動測量。評價項目依據(jù)SEMI標(biāo)準(zhǔn)。
上海韜世日本KURODA精密成型平面磨床 主機占地面積W1,660 x L1,600mm,與傳統(tǒng)機型相比實現(xiàn)節(jié)省空間約50%(※與GS-45FL II 相比)。 行業(yè)界小級別的精密成型磨床。
上海韜世日本KURODA自動化機器用支撐裝置 有方形和圓形2種,可根據(jù)安裝部位周邊結(jié)構(gòu)進行選擇??蛇m用絲杠尺寸φ6、8、10、12、15、16、20、25、28、32的滾珠絲杠。
上海韜世日本KURODA機床用支撐裝置 采用緊湊設(shè)計以縮小安裝部位周邊空間,支撐裝置內(nèi)的滾珠絲杠高精度推力斜角滾珠軸承預(yù)先已經(jīng)過適度的預(yù)壓調(diào)整,可直接安裝。且通過內(nèi)置防松功能的滾珠絲杠緊固螺母,可完成高精度安裝。
上海韜世日本KURODA精密成形平面磨床 從手動加工到全自動加工,更實現(xiàn)了左右高速高精度轉(zhuǎn)向加工。
上海韜世日本黑田精工KURODA油壓夾具 跳動精度控制高達(dá)“1μm”。 優(yōu)異的夾持精度,適合從成形加工到檢驗的各類用途。 油壓夾具是通過靜態(tài)液壓,利用薄壁圓柱部的金屬變形(彈性變形)夾持工件(產(chǎn)品、工具等)的夾具。 利用“帕斯卡原理”,施加小力而產(chǎn)生大力,因此金屬也會像氣球一般鼓起。 利用薄金屬的圓柱部的彈性變形產(chǎn)生膨脹,通過力的傳遞夾持工件。 油壓夾具的類型有以下兩種: ? 適用孔形工件的